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  • 专利名称:一种半导体铜背靶加工方法      申请号:2020108805269     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:半导体芯片生产 芯片制造 半导体铜靶材 铜靶材加工 铜背靶精密加工   相似专利 发布日:2025/03/31  
    摘要: 本发明公开了一种半导体铜背靶加工方法,其包括以下步骤:(1)将圆柱体状的T2紫铜铜材加热至850℃,然后经过锻压机锻打使T2紫铜铜材的直径变大高度变低,后放置冷却至650℃,然后将T2紫铜铜材锻打成一长方体的形状;(2)在650℃条件下将长方体状的T2紫铜铜材进行墩粗;(3)将T2紫铜铜材放置冷却至350℃,在350℃条件下将墩粗后的T2紫铜铜材锻打成长方体状;(4)继续在350℃条件下继续使用锻压机对长方体状的T2紫铜铜材进行锻打,将长方体状的T2紫铜铜材锻打成圆饼形状,然后在常温条件下空冷放置。本发明的半导体铜背靶加工方法可以将T2紫铜铜材加工成半导体铜靶材,工艺简单,加工成本低。
  • 专利名称:用于半导体芯片生产的浸蚀装置      申请号:2024110993866     转让价格:面议  收藏
    法律状态:授权未缴费   类型:发明   关键词:半导体芯片生产   相似专利 发布日:2025/02/10  
    摘要: 本发明公开了一种用于半导体芯片生产的浸蚀装置,涉及半导体芯片生产相关技术领域。该用于半导体芯片生产的浸蚀装置,包括浸蚀箱,所述浸蚀箱的内部固定连接有隔板,所述隔板的底部设有转动浸蚀机构。该用于半导体芯片生产的浸蚀装置,通过转动浸蚀机构的设置,将半导体通过进料管倒下,由于滤筒的外侧设置有转动门和弹簧,当半导体全部进入滤筒内,启动电机二带动滤筒转动,由于滤筒外壁上设置有挡块,因此转动门无法向外侧打开,这样在半导体转动时不会从滤筒内流出,半导体在滤筒内随着滤筒转动过程中浸蚀液对半导体进行全方位的浸蚀,不会出现某一面或某一处接触到浸蚀箱内壁导致无法浸蚀的情况。
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