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本实用新型涉及光学设备技术领域，且公开了子孔径拼接检测用五维调整架，包括操作台等。孔径拼接检测用五维调整架主要X向位移机构、Y向位移机构、Z向位移机构、绕Z轴平旋转机构及绕X轴摆动机构组成，子孔径拼接检测装置固定在绕X轴摆动机构上端，驱动绕X轴摆动机构可以实现孔径拼接检测装置绕X轴的角度调整功能。绕X轴摆动机构固定在绕Z轴旋转机构上，驱动绕Z轴旋转机构可以实现孔径拼接检测装置绕Z轴旋转角度的调整功能。绕Z轴旋转机构固定在Y向位移机构上，驱动Y向位移机构可以实现孔径拼接检测装置在Y向位移的调整功能，Y向位移机构固定在Z向位移机构上，驱动Z向位移机构可以实现孔径拼接检测装置的在Z向位移的调整功能。

本实用新型涉及多维复合高精度调整架，包括干涉仪调整架、CGH调整架、和CGH+干涉仪调整架等。所述干涉仪固定在干涉仪调整架上，CGH固定在CGH调整架的旋转台上，干涉仪调整架和CGH调整架整体坐落在CGH+干涉仪调整架上，干涉仪固定在安装面上，安装面通过第一直线导轨与基座连接一起，第一伺服电通过驱动第一滚珠丝杠使安装面在基座上移动。干涉仪调整架由一个自由度组成，只调整干涉仪前后移动距离，CGH调整架由四个自由度左侧，分别调整CGH的旋转角度，X和Y方向移动距离及Z向移动距离，CGH+干涉仪调整架由四个自由度组成，分别调整CGH+干涉仪整体结构的升降距离、前后俯仰角度、水平回转角度及前后移动距离。

本实用新型涉及光学技术领域，且公开了平面反射镜四维高精度调整台，包括带零点定位座的滑鞍等。该平面反射镜四维高精度调整台，面反射镜四维高精度调整台主要升降装置、前后俯仰装置、水平回转装置，水平移动装置等四个自由度部分组成，大型平面镜安装面与升降装置通过零点定位器连接，实现上下位移的调整，升降装置固定在前后俯仰装置上，通过驱动前后俯仰装置，实现平面反射镜的前后俯仰角度的调整，前后俯仰装置固定在水平回转装置上，驱动水平回转装置，实现水平方向回转角度的调整，水平回转装置固定在水平移动装置上，驱动水平移动装置，实现水平位移的调整功能，各个自由度独立控制并各自定位精度高，从而具备四维高定位精度的调整功能。