实用新型 已授权

子孔径拼接检测用五维调整架

📄 申请号:CN202220868399.5 📄 发布日:2026/06/05

著录项目信息

申请日
2022-04-15
公开号
CN217356249U
公开日
2022-09-02
申请人
雷宇科技(大连)有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

大口径光学元件检测, 子孔径拼接干涉检测, 精密光学测量, 光学加工与装调, 实验室精密实验设备

摘要

本实用新型涉及光学设备技术领域,且公开了子孔径拼接检测用五维调整架,包括操作台等。孔径拼接检测用五维调整架主要X向位移机构、Y向位移机构、Z向位移机构、绕Z轴平旋转机构及绕X轴摆动机构组成,子孔径拼接检测装置固定在绕X轴摆动机构上端,驱动绕X轴摆动机构可以实现孔径拼接检测装置绕X轴的角度调整功能。绕X轴摆动机构固定在绕Z轴旋转机构上,驱动绕Z轴旋转机构可以实现孔径拼接检测装置绕Z轴旋转角度的调整功能。绕Z轴旋转机构固定在Y向位移机构上,驱动Y向位移机构可以实现孔径拼接检测装置在Y向位移的调整功能,Y向位移机构固定在Z向位移机构上,驱动Z向位移机构可以实现孔径拼接检测装置的在Z向位移的调整功能。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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议价
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