实用新型已授权

多维复合高精度调整架

📄 申请号：CN202220868525.7 📄 发布日：2026/06/05

著录项目信息

申请日

2022-04-15

公开号

CN217543489U

公开日

2022-10-04

申请人

雷宇科技(大连)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G02B7_00

IPC 分类号

G02B7_00

技术画像

所属领域

精密机械机构精密机械机构多维调整机构光学调整架

应用场景

光学仪器, 精密测量, 激光调试, 半导体设备, 科研实验

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摘要

本实用新型涉及多维复合高精度调整架，包括干涉仪调整架、CGH调整架、和CGH+干涉仪调整架等。所述干涉仪固定在干涉仪调整架上，CGH固定在CGH调整架的旋转台上，干涉仪调整架和CGH调整架整体坐落在CGH+干涉仪调整架上，干涉仪固定在安装面上，安装面通过第一直线导轨与基座连接一起，第一伺服电通过驱动第一滚珠丝杠使安装面在基座上移动。干涉仪调整架由一个自由度组成，只调整干涉仪前后移动距离，CGH调整架由四个自由度左侧，分别调整CGH的旋转角度，X和Y方向移动距离及Z向移动距离，CGH+干涉仪调整架由四个自由度组成，分别调整CGH+干涉仪整体结构的升降距离、前后俯仰角度、水平回转角度及前后移动距离。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

平面反射镜四维高精度调整台

当前第 / 件

子孔径拼接检测用五维调整架

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