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本实用新型公开晶圆硅片定位设备技术领域，具体的说是一种晶圆硅片用定位装置，包括底座，所述底座顶端表面开设有可用于调节的滑孔，且滑孔有四组，所述滑孔内侧滑动安装有可用于调节的滑座，且底座内侧转动安装有可用于传动的盘体；当需要对晶圆硅片进行定位时，能够使得底座内侧的伺服电机运作，伺服电机运作方便在减速器A运作下带动锥形齿轮旋转，锥形齿轮与环形齿相互啮合并带动盘体进行转动，随后盘体顶部的螺旋槽方便与滑座底部的齿牙相互啮合，使得滑座能够在底座顶部的滑孔中滑动位移，随后滑座方便带动夹板对晶圆硅片进行定位，方便后续对其进行加工，且电动调节的方式更为简单便捷，同时效率较高。

本实用新型公开了一种硅片烘干炉，包括烘干炉本体和方管，所述烘干炉本体的内炉壁处固定有方管，还包括侧导流机构，所述侧导流机构包括导入孔、风入管、安装环、主风导管、辅风导管、底通管、风机、背靠板、对斜板、导风弯片和L形支板，在方管之间的烘干炉本体处设置侧导流机构取代硅片烘干炉原有顶端供风的结构，侧导流机构以双风机进行烘干炉本体的侧面多点供风，在风力导流作用下，方管之间硅片烘干炉原有导气管处发热元件产生的热量被高效带入烘干炉本体的炉腔内流动，使得烘干炉内的烘干风力携带热空气流动的效率提升，从而使得硅片更好的受热而快速升温，缩短烘干炉对硅片的烘干时间。