实用新型已授权

一种硅片烘干炉

📄 申请号：CN202322873786.5 📄 发布日：2025/10/24

著录项目信息

申请日

2023-10-26

公开号

CN221630163U

公开日

2024-08-30

申请人

长沙里妍环保科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F26B9_06

IPC 分类号

F26B9_06 , F26B21_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备干燥设备晶圆处理设备

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 晶圆加工, 光伏电池制造, 电子元器件制造

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摘要

本实用新型公开了一种硅片烘干炉，包括烘干炉本体和方管，所述烘干炉本体的内炉壁处固定有方管，还包括侧导流机构，所述侧导流机构包括导入孔、风入管、安装环、主风导管、辅风导管、底通管、风机、背靠板、对斜板、导风弯片和L形支板，在方管之间的烘干炉本体处设置侧导流机构取代硅片烘干炉原有顶端供风的结构，侧导流机构以双风机进行烘干炉本体的侧面多点供风，在风力导流作用下，方管之间硅片烘干炉原有导气管处发热元件产生的热量被高效带入烘干炉本体的炉腔内流动，使得烘干炉内的烘干风力携带热空气流动的效率提升，从而使得硅片更好的受热而快速升温，缩短烘干炉对硅片的烘干时间。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240830

✅ 授权

一种纸制品加工用烘干装置

当前第 / 件

一种城市照明灯维修装置

同领域国内专利 · IPC: (F26B9_06)

F26B9_00 F26B9_02 F26B9_04 F26B9_06 F26B9_08 F26B9_10 覆盖6个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：142 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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