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摘 要:本实用新型公开了一种硅片烘干炉,包括烘干炉本体和方管,所述烘干炉本体的内炉壁处固定有方管,还包括侧导流机构,所述侧导流机构包括导入孔、风入管、安装环、主风导管、辅风导管、底通管、风机、背靠板、对斜板、导风弯片和L形支板,在方管之间的烘干炉本体处设置侧导流机构取代硅片烘干炉原有顶端供风的结构,侧导流机构以双风机进行烘干炉本体的侧面多点供风,在风力导流作用下,方管之间硅片烘干炉原有导气管处发热元件产生的热量被高效带入烘干炉本体的炉腔内流动,使得烘干炉内的烘干风力携带热空气流动的效率提升,从而使得硅片更好的受热而快速升温,缩短烘干炉对硅片的烘干时间。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202322873786.5 | 专利名称: | 一种硅片烘干炉 |
申请日: | 2023-10-26 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | F26B9/06搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |