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发明已授权

本发明公开了一种采用闪耀光栅的激光干涉光刻系统，该激光干涉光刻系统包括光源组件、扩束准直组件、多光束分光及合束组件、基片台，所述光源组件包括相干光源、第一透镜、第二透镜、闪耀光栅，所述相干光源发出的激光束依次经第一透镜、第二透镜后，再经反射镜折转光路后照射在闪耀光栅上，经闪耀光栅衍射后波长等于一级闪耀波长的光束经过小孔光阑出射，再经所述扩束准直组件、多光束分光及合束组件后分成多个相干光束并同时汇聚照射在位于基片台上的基片表面。本发明具有光能利用率高、相干长度长的优点，既增加了光路调整的灵活性和宽容度，又降低了激光光源谱线宽度要求，扩大了激光光源的选择范围。

📄 2015107062060 📂 G03F7_20 👤 西安中科立德红外科技有限公司 📅 2015-10-27

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一种衍射光学元件模压装置

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本发明涉及光学元件模压制造领域，具体涉及一种衍射光学元件模压装置。其可用于温度范围为室温至250℃，本装置脱模以及更换模具方便易操作，方便更换不同衍射结构的模具，在传统的热压成型方法基础上增加真空辅助成型功能，在真空腔内对模具和模压原材料进行加热和保温，并对模压原材料加压成型。本发明的技术方案包括机架和位于机架上部的升降机构、位于机架中部的真空腔机构和模压板机构，以及位于机架下部的脱模机构，所述的模压板机构设置于真空腔机构的真空腔内；升降机构带动模压板机构中的模压板上下运动，完成装置的合模热压印，脱模机构设置于机架的底部的导轨上，实现滑出脱模。

📄 2019100961567 📂 B29C51_10 👤 西安中科立德红外科技有限公司 📅 2019-01-31

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转让方：中国科学院××研究所
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CRISPR基因编辑技术

转让方：××大学
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交易类型：转让
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采用闪耀光栅的激光干涉光刻系统

一种衍射光学元件模压装置

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