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本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆生产用转移设备，包括底座和转移机构，转移机构包括边板和外导轨，边板和外导轨均设置有两个，两个外导轨之间设置有限位机构，限位机构包括四个滑动组件和限位夹板，滑动组件包括圆形结构的滑块、连接杆和活动块，滑块和连接杆均设置有两个，两个滑块均滑动连接在外导轨和边板之间，滑块的一侧与链条固定连接，连接杆与滑块一一对应，连接杆固定连接在滑块的一侧，活动块与连接杆固定连接，限位夹板设置有四个并分别固定安装在同一限位机构内的四个活动块上。分发明通过驱动电机驱动链条转动，进而通过滑块使限位机构中的限位夹板带动晶圆移动，提高晶圆在清洗时的位置的精确性。

本发明涉及气浮技术领域，具体是一种基板非接触传送及干燥一体化装置，所述支撑底板的两侧固定连接有支撑侧板，所述支撑底板的顶部固定连接有安装底板，所述安装底板的顶部固定连接有喷气筒，所述喷气筒的顶部固定连接有喷气头，喷气头有三列，所述喷气筒的内部转动连接有封闭转柱，所述封闭转柱的两端固定连接有转动筒，通过巧妙设计的结构，实现了基板的非接触传送和干燥一体化操作，该装置通过改变气体喷射方式，实现基板的传送；同时，通过加热气体，实现基板的干燥，在传送过程中，通过设置缓冲装置，减小了基板与装置之间的碰撞力，保护了基板，此外，装置还具备调整功能，以适应不同大小的基板。