专利交易市场

本实用新型涉及一种晶圆环一体式研磨装置，研磨组件包括研磨机头，定位筒和连接座，研磨机头设置在定位筒内，定位筒具有侧向开口，侧向开口与研磨机头的刀具对应设置，定位筒设置在连接座上，连接座具有通孔，刀具位于通孔上方，定位组件包括限位板，导板和定位板，限位板具有板体，板体周侧设有上翻折部和下翻折部，板体设有与通孔对应的环形槽，连接座设置在下翻折部之间并通过第一锁紧件锁紧，限位板与定位筒通过上翻折部的第二锁紧件锁紧，导板设置在限位板下方且与限位板连接，定位板设置在导板下方且与导板转动连接，所述定位板设有与配接孔对应的环形槽和卡爪。本实用新型能够便于对晶圆环进行定位，同时能够对晶圆环孔洞内壁进行研磨。

本实用新型涉及一种晶圆切割环清洗装置，包括放置平台和清洗组件，其特征在于，清洗组件包括驱动机构，往复杆，支架，滑动部，管路和清洗机构，滑动部与往复杆连接，滑动部设置在支架的导轨上，两条导轨沿放置平台长度方向设置，往复杆与驱动机构连接，往复杆与导轨平行设置，驱动机构带动往复杆往复运动，所述清洗机构与滑动部连接，清洗机构包括清洗部，连接杆和支撑杆，连接杆一端与清洗部连接，另一端与往复杆连接，清洗部朝向放置平台，清洗部与管路连通，清洗液通过管路向清洗部输送，支撑杆穿过连接杆，支撑杆两端与两个滑动部连接。本实用新型能够将多个工件放置在平台上，对工件进行反复清洗，提升清洗效果和效率。

本实用新型涉及一种晶圆贴片环的自动送料装置，包括驱动杆，滑动座，夹持装置和滑轨，所述驱动杆与滑动座枢轴连接，所述滑动座设置在滑轨上，夹持装置设置于滑动座，夹持装置包括夹臂和作动杆，夹臂与滑动座枢轴连接，夹臂具有夹口，作动杆滑动设置在滑动座上且垂直于滑轨设置，作动杆与夹臂之间设有弹簧，所述作动杆一端设有滚轮，滚轮抵靠挡条，挡条平行于滑轨，所述挡条设有凹口，凹口与滚轮对应设置，滚轮进入凹口时，夹口打开，滚轮脱离凹口时，夹口夹紧，所述滑轨一侧设有放置区，夹臂位于放置区。本实用新型能够使工件在放置区内自动夹紧和释放并产生位移，从而方便物料输送至指定位置，提升送料安全性，操作方便。

本实用新型涉及一种晶圆环物料输送装置，包括物料存储区、抓取装置和输送组件，至少两组第一检测组件横向间隔设置在传输机构上，第一检测组件位于同一直线上，第二检测组件设置在传输机构上且位于第一检测组件下游，所述第一检测组件和第二检测组件位于放置区域，传输机构包括上驱动机构、下驱动机构以及设置在上、下驱动机构之间的支撑座，上驱动机构和下驱动机构均包括导轨和移动部，两组移动部间隔设置在两条导轨上，移动部与导轨之间设有导向组件，移动部之间设有支撑板，相邻支撑板之间具有间隙，第一检测组件和第二检测组件与间隙对应设置。本实用新型能够使物料放置避免偏斜，在输送时保持方向一致，运输稳定性较好，方便后道工序加工。