基于多阶段ICA-SVDD的间歇过程故障监测方法

摘     要：本发明公开了一种基于多阶段ICA‑SVDD的间歇过程故障监测方法。用于工艺机理复杂并存在多个操作阶段的间歇过程。针对一些间歇过程具有的多阶段性和数据分布非高斯性问题，采用一种改进的阶段划分和故障监测方法。首先根据各个时间片的相似度和K均值算法进行阶段划分，然后对各阶段分别利用独立成分分析方法提取出非高斯的特征信息，最后引入支持向量数据描述算法对独立成分和剩余的高斯残差空间分别建立统计分析模型，实现对整个过程的故障监测。应用于一个实际的半导体蚀刻过程的故障监测，结果表明该方法对多阶段间歇过程具有更佳的监测效果。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注