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摘 要:本发明公开了一种生物基成膜树脂及其制备的光刻胶,所述生物基成膜树脂由苯乙烯衍生物与胆酸衍生物通过自由基聚合反应、醇解反应制成;将所述生物基成膜树脂与光产酸剂、助剂、溶剂等混合,用于制备365nm及248nm光刻胶。本发明在常规的聚对羟基苯乙烯成膜树脂中引入了含天然产物胆酸的可聚合单体,形成一类新的改良的成膜树脂,这种新的成膜树脂可以增加光刻胶的紫外透明性,提高其光敏性能,且大的环状结构可以增大碳的致密性,减低聚合链的自由体积,提高耐热性能,增加其抗蚀刻能力;且大的侧链可以改善酸扩散问题,提高溶解反差,降低图像的边缘粗糙度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201711164056.0 | 专利名称: | 一种生物基成膜树脂及其制备的光刻胶 |
申请日: | 2017-11-21 | 申请/专利权人 | 江南大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C08F220/28搜分类 高分子材料 胶 港口 光刻 光刻胶搜索 |
公开/公告日: | 2019-08-16 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108084331B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |