一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法

摘     要：本发明公开了一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法，属于纳米材料领域，将衬底置于反应腔，在真空下，以式1所示结构的化合物为Ni前驱体，以甲酸、乙酸、丙酸、丁酸中的一种或几种为碳源；以脉冲形式向反应腔中通入气相Ni前驱体，得到沉积有Ni前驱体的衬底；然后充入惰性气体进行吹扫后，将气相碳源以脉冲形式通入反应腔，与沉积在衬底上的Ni前驱体进行反应，得到含单原子层NixC薄膜的衬底；再向充入惰性气体清洗；重复上述ALD生长循环多次，即可得到生长NixC薄膜的衬底。本发明沉积速率高，沉积速率可达0.196nm/循环，且本发明所制备的NixC薄膜的电阻率低。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

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