基于双目标遗传算法的极紫外多层膜高精度表征方法

摘     要：本发明公开了一种基于双目标遗传算法的极紫外多层膜高精度表征方法，该方法通过将实数编码的非支配排序遗传算法(NSGA‑II)应用于EUV多层膜的掠入射X射线反射谱与EUV反射谱的实验结果的联合拟合。将EUV多层膜的掠入射X射线反射谱与EUV反射谱作为双目标遗传算法的优化目标，进化获得接近Pareto前沿的非支配解集，利用Levenberg‑Marquart算法对非支配解集中两个拟合目标的拟合残余较小的优秀个体进一步优化，获得两个拟合目标拟合残余最小的最佳结构参数。本发明解决了基于单目标拟合(掠入射X射线反射谱或EUV反射谱)求解中的多解问题，并避免了将两个拟合目标简单加和联合拟合求解时，目标之间相互影响，甚至严重倾向于其中一个目标造成多层膜微观结构表征精度不高的问题。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注