基于QIGA的宽带EUV多层膜的离散化膜系设计方法

摘     要：本发明公开了一种基于QIGA的宽带EUV多层膜的离散化膜系设计方法，包括：1)输入所述设计方法的初始参数值；2)对多层膜膜层沉积时间进行量子编码，生成初始量子种群Q(t)；3)根据Q(t)中个体的量子概率幅构造量子叠加态的观察态R(t)；4)判断是否满足终止条件，满足则停止输出最优解，否则继续；5)计算R(t)中表征离散化膜系沉积时间的个体适应度，保存对应最优膜系的沉积时间的个体；6)更新量子旋转门，通过其更新Q(t)；7)观测Q(t)，生成R(t)，评估R(t)，保留最优个体；8)通过量子非门更新Q(t)；9)采用精英保留策略，转向步骤4)。本发明可以解决现有极紫外多层膜设计方法所存在的求解效率低及在镀膜中对厚度控制精度要求高等缺点。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注