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摘 要:本发明公开了一种基于菲涅尔矩阵THz波传播模型的涂层厚度检测方法,从电磁场理论模型出发,根据对涂层厚度进行检测时使用的反射式THz时域光谱系统建立正入射THz波在多层介质结构中的反射式传播一维电场模型,在此基础上引入菲涅耳系数矩阵与相位矩阵,提出菲涅尔系数矩阵THz波传播模型,并对该模型进行验证;利用基于菲涅尔系数矩阵THz波传播模型的最小二乘厚度优化方法实现涂层厚度的定量检测,对涂层厚度通过迭代优化进行求解,使得仿真结果与测量结果差值的最小残差平方和最小,实现对厚度参数的高精度优化;引入THz发射器与被测件之间的距离参数DTS,并对THz发射器与被测件之间的距离误差进行可视化处理,进一步提高涂层厚度检测的准确性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710927705.1 | 专利名称: | 基于菲涅尔矩阵THz波传播模型的涂层厚度检测方法 |
申请日: | 2017-10-09 | 申请/专利权人 | 长春理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 吉林省长春市卫星路7089号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/06搜分类 厚度检测搜索 |
公开/公告日: | 2019-12-20 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN107764195B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |