基于EA的宽带EUV多层膜的离散化膜系设计方法

摘     要：本发明公开的一种基于进化算法(EA)的宽带极紫外(EUV)多层膜的离散化膜系设计方法包括：依据仅以时间控制膜厚镀膜系统的沉积速率，以EA为基础将传统化膜系设计中膜厚参数改进为以沉积速率为公差的等差数列的离散化膜厚输入；以种群中各膜系的光谱性能评价每个离散化膜系的适应度，通过进化算法实现离散化膜系种群的进化，输出最优的离散化膜系。本发明的设计方法解决了仅由时间控制膜厚且沉积速率较大的镀膜系统无法满足宽带EUV多层膜膜厚控制精度的问题，并通过实验进行了相关的验证，得到了较为理想的宽带EUV多层膜。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注