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本发明涉及磁粒研磨技术领域，尤其涉及一种电解超声磁粒复合研磨光整加工曲轴系统及方法。超声振动装置与曲轴一端相连，驱动装置与曲轴另一端相连，并带动其旋转，横向进给装置带动磁粒研磨随动装置沿曲轴轴线往复移动，磁粒研磨随动装置与磁刷相连，磁粒研磨随动装置使得磁刷跟随着要研磨的曲轴表面；电化学反应装置的铜棒与喷嘴固接在磁刷上，电解槽通过管路与铜棒及喷嘴相连，铜棒与电解抛光仪直流电源的负极相连，直流电源的正极与碳刷组件的碳刷相连，碳刷抵在曲轴上。电化学光整加工与轴向超声振动辅助磁粒研磨光整加工相结合，实现对硬质合金曲轴的光整加工，显著提高了加工效率和表面质量。

本发明公开了一种在半导体材料上制备阵列孔的激光增强超声电解复合加工方法及装置，属于特种加工技术领域，利用超声加工头高频振动驱动电解液中悬浮微磨粒冲击半导体材料实现指定位置材料去除；同时，超声加工头作为阴极对半导体材料进行电解加工，实现超声‑电解定域复合加工。本发明方法利用超声振动、磨粒、电化学与激光在工件背面快速加工微孔结构。本发明装置用来实现本发明方法，本发明的加工系统功能完善，易于组装实现。所设计的阴阳极位置调节装置结构简单，易于安装、检修。

本发明公开了电解磨削复合加工技术领域的侧流式活动模板电解磨削复合加工方法及装置，活动模板由绝缘层和导电层组成，导电层位于绝缘层的两侧，活动模板双面均设有导电层，导电层的表面电镀一层金属沉积层，金属沉积层上镶嵌有金刚石颗粒，导电层和绝缘层组成的活动模板、金属沉积层以及金刚石颗粒组成工具阴极；本发明通过工件与工具阴极之间作相对匀速的旋转运动，以使工具阴极能够有规律地均匀扫过工件表面，电解产物在电解液的冲刷以及人造金刚石颗粒的刮除作用下能够比较容易地排出，使新的金属表面露出，继续产生电解作用，工件材料不断地被蚀除，从而提高了加工效率、加工质量，且成本低廉、操作简单。

本发明公开了电解磨削复合加工技术领域的正流式活动模板电解磨削复合加工方法及装置，活动模板由绝缘层、导电层组成，在活动模板的导电层表面电镀一层具有金刚石颗粒的金属沉积层，活动模板与金属沉积层以及金刚石颗粒组成工具阴极，并且工具电极具有贯穿的群孔结构；本发明通过工具阴极与工件的相对运动实现对工件表面的光整加工，工件与工具阴极之间作相对匀速的往复或旋转运动，以使工具阴极能够有规律地均匀扫过工件表面，加工过程中产生的电解产物在电解液的冲刷以及人造金刚石颗粒的刮除作用下能够比较容易地排出，使新的金属表面露出，继续产生电解作用，工件材料不断地被蚀除，提高了加工效率、加工质量，且成本低廉、操作简单。

本发明公开一种微细工具电极的制备方法，以待加工棒状电极为阳极，以块电极为阴极，根据电化学阳极溶解原理，调节块电极与加工棒状电极的相对运动，以制备不同形状的微细工具电极。本发明保证电解液浸没块电极和待加工棒状电极的待加工区，实现完全电解加工，并且采用一定厚度的块电极作为阴极，增大了电解反应区域，有利于提高阳极的蚀除率，提高微细工具电极的制备效率。

本发明涉及一种旋转式磁流体辅助磨削套料电解复合加工装置及方法。装置包括：基准台、绝缘密封夹具、片状合金电极、励磁绝缘套筒、成型线圈绕组和密封端盖等。加工过程中，在工件与片状合金电极之间施加电压，同时电解质溶液流进绝缘密封夹具，并从工件与片状合金电极之间的间隙内高速流过，使得工件在电化学腐蚀作用下被溶解。励磁绝缘套筒与片状合金电极滑动密封连接，在机床作用下推动片状合金电极向下运动，将工件加工成型。励磁绝缘套筒管壁内置成型线圈绕组，在外接电流作用下产生磁场，驱动磁性流体中的纳米颗粒不断磨削工件表面，有助于减小套料电解加工表面杂散腐蚀，提高表面质量。

本发明涉及一种旋转式超声复合套料电解加工装置及方法。装置包括基准台、绝缘密封夹具、片状合金电极、磨削室套筒、阵列超声片和陶瓷磨粒。加工过程中，工件与片状合金电极外接加工直流电源，同时电化学溶液经绝缘密封夹具入口流入，并从工件与片状合金电极之间的间隙内高速流过，使得工件在电化学腐蚀作用下被溶解。磨削室套筒外壁粘贴阵列超声片，按周向排布。超声片由脉冲分配器依次供电，按周向产生交替超声振动。超声振动传导至磨削室套筒内部电化学溶液中，使得电化学溶液围绕工件旋转运动。陶瓷磨粒在旋转运动的电化学溶液驱动下，对工件表面形成微动磨削，起到光整表面作用。