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摘 要:一种双定子固定式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法,以解决当前压电粘滑直线马达由于采用单定子驱动所导致的输出推力小、行程短及精度低等技术问题。本发明由斜楔形定子、双导轨式动子、滑动凸台、加载装置和基座组成。所述斜楔形定子通过产生侧向位移,调整其与双导轨式动子之间的接触正压力,以实现对摩擦力的综合调控;同时,本发明通过不同非对称电信号组合激励斜楔形定子,可实现输出加强型及运动急停型等多种驱动模式。本发明具有结构简单、负载能力强,且运动稳定等特点,在光学精密仪器、半导体加工等微纳精密驱动技术领域中具有很好的应用前景。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810081814.0 | 专利名称: | 双定子固定式精密压电粘滑直线马达及其驱动方法 |
申请日: | 2018-01-29 | 申请/专利权人 | 长春工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 吉林省长春市朝阳区延安大街2055号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H02N2/04搜分类 发动机 电机加工 直线马达搜索 |
公开/公告日: | 2020-06-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108199613B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |