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| 专利/申请号： | CN202110750391.9 | 专利名称： | 一种液滴靶发生器振动监测装置及方法 |
| 申请日： | 2021-07-01 | 申请/专利权人 | 江汉大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 湖北省武汉市沌口经济技术开发区新江大路8号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G01H9/00分类检索 振动 监测装置专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2023-07-21 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN113776641B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种液滴靶发生器振动监测装置及方法，包括液滴靶发生器，在所述液滴靶发生器的下侧布置有微孔喷嘴，还包括两组探针，沿微孔喷嘴的X轴和Y轴均设置有一组探针，所述探针上分别连接有探针臂；还包括两组激光发生器。本发明具有的有益效果是：相比传统的摄像头监测等方法，本发明所提出的监测方法直接监测液滴靶发生器，且原子力探针的监测方式具有非常高的精度，对液滴靶发生器的横向高频运动信号具有较好的监测能力；同时原子力探针的监测方式不受被测表面温度的影响，实时的监测信号可作为液滴靶发生器振动补偿、漂移修正等装置的参考信号，能有效的增强液滴靶发生器的工作稳定性。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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