一种液滴靶发生器振动监测装置及方法

摘     要：本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种液滴靶发生器振动监测装置及方法，包括液滴靶发生器，在所述液滴靶发生器的下侧布置有微孔喷嘴，还包括两组探针，沿微孔喷嘴的X轴和Y轴均设置有一组探针，所述探针上分别连接有探针臂；还包括两组激光发生器。本发明具有的有益效果是：相比传统的摄像头监测等方法，本发明所提出的监测方法直接监测液滴靶发生器，且原子力探针的监测方式具有非常高的精度，对液滴靶发生器的横向高频运动信号具有较好的监测能力；同时原子力探针的监测方式不受被测表面温度的影响，实时的监测信号可作为液滴靶发生器振动补偿、漂移修正等装置的参考信号，能有效的增强液滴靶发生器的工作稳定性。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注