咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本发明涉及微纳结构制备领域,具体涉及一种制备窄间距的手性微纳结构的方法,主要制备步骤包括涂覆光刻胶、电子束曝光、显影定影、倾斜蒸镀金属材料和剥离光刻胶。制备的过程中曝光较大尺寸的图形,通过倾斜蒸镀就可以制备出窄间距的金属微纳结构,并且该结构的参数可以通过蒸镀束流的角度和蒸镀时间进行调节。该制备方法操作简便,避免了制备小间距结构需要很高的工艺要求。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910839132.6 | 专利名称: | 一种制备窄间距的手性微纳结构的方法 |
申请日: | 2019-09-05 | 申请/专利权人 | 陕西师范大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市长安区西长安街620号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20搜分类 微 微生物采样搜索 |
公开/公告日: | 2021-08-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110515280B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |