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摘 要:本发明涉及一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法。现有铁电薄膜介电和热释电性能不高,通过A/B位掺杂改性的方式提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能。本发明依次包括下述步骤:一、制备PMN‑PT前驱体溶液:二、利用稀土元素制备均匀掺杂稀土元素的PMN‑PT前驱体溶液;三、将掺杂稀土元素PMN‑PT前驱体溶液在Pt/TiO2/SiO2/Si基底上旋涂均匀,薄膜退火结晶得到掺杂稀土元素PMN‑PT薄膜。本发明通过稀土元素掺杂,显著提高驰豫铁电PMN‑PT薄膜介电和热释电性能。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910939492.3 | 专利名称: | 一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法 |
申请日: | 2019-09-30 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C04B35/497搜分类 塑料 铁电搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |