咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本发明涉及一种用于双光子聚合加工的三维椭圆运动工作台,属于超精密加工领域。由X向、Y向、Z向三个压电叠堆驱动具有柔性铰链结构的工作台,可实现X、Y、Z三个方向的微动,三个压电叠堆分别由预紧螺钉进行预紧,工作台的各个方向由单独的压电叠堆驱动,避免了其他方向运动对该驱动方向的扰动;对三个压电叠堆通以频率相同而相位差不为零的驱动信号,可以实现工作台在空间的二维椭圆运动或三维椭圆运动,通过控制椭圆运动参数,可调整椭圆的方位和大小,工作台X向、Y向的柔性铰链采用直梁式铰链首尾相连组合而成;本发明涉及的工作台加工简单,体积较小且有较好的载物空间,可实现高频、连续的三维椭圆运动。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201510621673.3 | 专利名称: | 一种用于双光子聚合加工的三维椭圆运动工作台 |
申请日: | 2015-09-27 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20搜分类 三维搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |