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摘 要:本发明提供了一种TiSiNiN纳米复合涂层,是一种由界面相包裹TiN纳米晶粒的复合结构,所述的界面相由化合物Si3N4和金属Ni两相组成。本发明还提供了上述涂层的制备方法,先对基体进行清洗,然后采用多靶磁控溅射仪,利用TiSiNi复合靶材在基体上进行磁控溅射反应沉积,所述TiSiNi复合靶材中,按原子比计算,Ti为80%,Si和Ni的总原子量为20%。该TiSiNiN纳米复合涂层的最高硬度为可达48.643GPa,可用在干式、高速切削加工刀具以及在摩擦磨损条件服役的部件表面,从而提高刀具及部件表面性能和使用寿命。本发明的制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201611153025.0 | 专利名称: | 一种TiSiNiN纳米复合涂层及其制备方法 |
申请日: | 2016-12-14 | 申请/专利权人 | 上海理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 上海市杨浦区军工路516号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 纳米搜索 |
公开/公告日: | 2019-03-19 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN106702338B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |