一种LIV效应可调的镧钙锰氧薄膜制备设备

摘     要：本发明公开了一种LIV效应可调的镧钙锰氧薄膜制备设备，其包括柜体、激光发生器、真空系统、气氛系统、靶材系统、薄膜系统、射镀系统、磁控系统、膜厚测试系统、LIV性能调整系统；该装置能够大幅提高薄膜质量的可控性，使得膜厚可控，能够通过扩大磁场范围制备出大面积应用型薄膜；本发明装置能够通过实时切换材料进行多组分薄膜的制备，且保证制备条件相同，能够在相同调节下制备出不同状态的薄膜；具有实时测试功能，能够实时监测薄膜的膜厚和LIV效应性能，可大幅缩短工艺调整周期，并能及时调整工序条件制备出符合需求的样品，提高原料利用率，降低开发成本。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2019/11/08	授权
  2018/08/21	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/08 专利申请号: 201810268570.7 申请日: 2018.03.29
  2018/07/27	公开