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摘 要:本实用新型公开了一种传感器单晶硅刻蚀设备,涉及传感器领域,本实用新型包括反应箱,反应箱的底部中间安装有电机,电机的输出端连接有贯穿至反应箱内部的转轴,转轴的外表面套接有多个片板,多个片板的顶部安装有拆卸网板,多个片板之间固定有环形板,反应箱的内部自上而下均开设有环形槽。本实用新型通过设置有片板、环形板和环形槽,在传感器单晶硅置于两个片板之间后,电机运行让转轴转动,使得多个片板四周通过环形板在环形槽内滑动,提高了片板转动的稳定性,且当传感器单晶硅由于离心滑动时,位于四周的环形板可挡住传感器单晶硅,以防其滑脱,避免了片架转动过程中传感器单晶硅可能滑脱掉落出现损伤的情况。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202122065744.X | 专利名称: | 一种传感器单晶硅刻蚀设备 |
申请日: | 2021-08-30 | 申请/专利权人 | 董淑琼 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 广东省广州市白云区华南街人和安置区北侧约130米 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C30B33/12搜分类 传感器 硅 港口 单晶搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |