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摘 要:本发明涉及一种硅片倒角砂轮修整装置,属于砂轮修整技术领域,它包括工作台和间隔设于工作台上的工件放置机构和修整机构,所述工件放置机构至少包括竖直向上延伸的放置转轴和用于驱动放置转轴自转的第一驱动件,所述放置转轴顶部形成有供砂轮套装于放置转轴上的固定部,所述放置转轴上设有位于固定部下方的对槽辅助部,所述修整机构至少包括能上下升降且能沿放置转轴的径向水平移动的移动部,所述移动部上固定有上下间隔设置的砂轮修整器和对槽检测部。本发明能够有效防止修整时砂轮修整器损坏砂轮槽槽壁上的磨粒结构,延长砂轮的使用寿命下降,同时能够保证修整的效果,从而保证砂轮后续倒角加工的质量。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210377924.8 | 专利名称: | 硅片倒角砂轮修整装置 |
申请日: | 2022-04-12 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学,浙江中晶科技股份有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市拱墅区潮王路18号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B24B53/065搜分类 半导体 倒角 硅 港口搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |