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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN201710984180.5 | 专利名称： | 一种光敏聚酰亚胺材料柔性变角度阵列衍射光学器件的制作方法 |
| 申请日： | 2017-10-20 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G02B27/48分类检索 光学仪器 胺 阵列 器件专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 转让价格： | 面议 【平台担保交易】 | |
| 公开/公告号： | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：一种光敏聚酰亚胺材料柔性变角度阵列衍射光学器件的制作方法，包括以下步骤：步骤1：制备好包含N组一维二元衍射光学结构的柔性变角度阵列衍射光学器件掩模版备用；步骤2：选择硅片作为基底材料并进行清洗；步骤3：硅片上涂敷一层光刻胶，并进行加热固化作为牺牲层；步骤4：光敏聚酰亚胺光刻胶胶液配制；步骤5：在牺牲层上涂敷光敏聚酰亚胺光刻胶，对涂敷好的光敏聚酰亚胺光刻胶进行前烘，使用掩模版进行曝光，再进行显影和后烘固化，形成光敏聚酰亚胺光刻胶衍射图形；步骤6：去除牺牲层以及位于其下的硅片，制成柔性变角度阵列衍射光学器件。本发明全波段散斑抑制效果好、运动方式简单、易于实现、且系统通用性、鲁棒性好、成本低廉。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2020/05/01 | 授权 | |
| 2018/05/01 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G02B 27/48 专利申请号: 201710984180.5 申请日: 2017.10.20 |
| 2018/04/06 | 公开 |
