一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法

摘     要：本发明公开了一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法，制备方法主要包括：(1)对基体进行前处理，使其表面清洁、光滑；(2)在多靶磁控溅射沉积系统中安装WS2靶、石墨靶和前处理后的基体，并将沉积室气压抽至1.5×10‑3Pa以下，调整靶基距和基体直流负偏压，通入高纯氩气并获得稳定气压；(3)加热基体到一定温度，然后以WS2靶和石墨靶为溅射靶材，在基体表面交替沉积WSx膜和DLC膜，通过沉积时间控制多层膜的调制周期、DLC膜厚和薄膜厚度等参数，从而获得特定结构特征的WSx/DLC纳米多层膜。本发明方法工艺简单、经济性好，制得的纳米多层膜硬度高(>9.5GPa)、结合力好(>36N)、内应力小(<370MPa)，在真空及潮湿大气环境中的耐磨性能优异(大气、真空中的摩擦因数低于0.17和0.1，磨损率<3×10‑15m3/Nm量级)，摩擦学性能的环境敏感性显著降低，具有较好的应用前景。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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