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专利名称：一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法申请号：2017104235419 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：C L LED芯片纳米润滑膜相似专利发布日：2023/09/14
摘要：本发明公开了一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法，制备方法主要包括：(1)对基体进行前处理，使其表面清洁、光滑；(2)在多靶磁控溅射沉积系统中安装WS2靶、石墨靶和前处理后的基体，并将沉积室气压抽至1.5×10‑3Pa以下，调整靶基距和基体直流负偏压，通入高纯氩气并获得稳定气压；(3)加热基体到一定温度，然后以WS2靶和石墨靶为溅射靶材，在基体表面交替沉积WSx膜和DLC膜，通过沉积时间控制多层膜的调制周期、DLC膜厚和薄膜厚度等参数，从而获得特定结构特征的WSx/DLC纳米多层膜。本发明方法工艺简单、经济性好，制得的纳米多层膜硬度高(>9.5GPa)、结合力好(>36N)、内应力小(<370MPa)，在真空及潮湿大气环境中的耐磨性能优异(大气、真空中的摩擦因数低于0.17和0.1，磨损率<3×10‑15m3/Nm量级)，摩擦学性能的环境敏感性显著降低，具有较好的应用前景。

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