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摘 要:一种基于椭圆形多模干涉原理的十字交叉波导的制作方法,包括以下步骤:(1)选择二氧化硅作为基底材料,上部生长一层硅片;(2)在硅片上进行融刻,制作基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导的器件结构,包括竖向部分和横向部分,竖向部分和横向部分结构上完全一致,依次包括前端直波导区域、前端锥形模式匹配器区域、椭圆形多模干涉区域、后端锥形模式匹配器区域、后端直波导区域组成,横向和竖向部分垂直交叉且中心对称,对称中心在椭圆形多模干涉区域的中心;硅片的下部分保留硅基,同时椭圆形十字交叉波导的器件结构完全掩埋于二氧化硅中。本发明串扰和损耗抑制效果好、结构紧凑、制作工艺简单、易于实现、且通用性、鲁棒性好、成本低廉。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710255596.3 | 专利名称: | 一种基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导的制作方法 |
申请日: | 2017-04-19 | 申请/专利权人 | 浙江工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G02B6/12搜分类 波导搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |