一种提高硼掺杂纳米金刚石薄膜p型导电性能的方法

摘     要：本发明提供了一种提高硼掺杂纳米金刚石薄膜p型导电性能的方法，采用热丝化学气相沉积方法，在单晶硅衬底上制备硼掺杂纳米金刚石薄膜；然后在500-700℃温度下的空气中保温5-50分钟，即制得p型导电性能提高的硼掺杂纳米金刚石薄膜。本发明将硼掺杂纳米金刚石薄膜在空气中加热一定时间，使得其导电性能增强，解决了硼掺杂纳米金刚石薄膜的电导率和Hall迁移率较低，导电性能较掺入相同浓度硼的微晶金刚石薄膜差，难以用作电学器件的问题；制备得到的p型硼掺杂纳米金刚石薄膜，载流子浓度和迁移率增加，导电性能增强，对于实现其在电化学电极和半导体领域等方面的应用具有十分重要的科学意义和工程价值。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注