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摘 要:本实用新型涉及半导体加工技术领域,且公开了一种半导体加工用冷却装置,包括装置底座,装置底座上固定有冷却水箱、升降轨道和空气压缩泵,装置底座底部转动连接有移动滚轮,冷却水箱顶部固定有控制面板和压力泵。该半导体加工用冷却装置,通过空气压缩泵,便于配合电磁阀使压缩后的空气经过气体喷嘴快速喷出,将半导体材料表面残留水渍吹落,通过第一电机带动第一连杆旋转,便于配合第二连杆推动第二连通板在滑动杆上往复滑动,使喷出的气体快速反复作用在材料表面,提高使用效果,从而解决了通过雾化喷头进行冷却处理后,半导体材料表面容易残留水渍,容易对半导体材料后续的加工造成影响的问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202223177081.1 | 专利名称: | 一种半导体加工用冷却装置 |
申请日: | 2022-11-29 | 申请/专利权人 | 广西六个六科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 广西壮族自治区南宁市中国(广西)自由贸易试验区南宁片区博艺路9号朗玥湖山4号楼2单元二十八层2803号房 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67搜分类 半导体 半导体加工搜索 |
公开/公告日: | 2024-02-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN220491841U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/02/13 | 授权 |