亚波长光学成像器件焦距测量装置及其测量方法

摘     要：本发明公开了一种亚波长光学成像器件焦距测量装置及其测量方法，装置包括激光器、扩束准直系统、亚波长光学成像器件及纳米台阶高度标准样块；纳米台阶高度标准样块与一个带动其在垂直方向上下移动的动力装置连接，动力装置与计算机控制系统连接；纳米台阶高度标准样块表面涂设有光刻胶，且纳米台阶高度标准样块由若干在同一竖直面上等间距排布的台阶组成；其中一个台阶为中间台阶，其与亚波长光学成像器件之间的间距为亚波长光学成像器件的焦距设计值；所有台阶中，自中间台阶向上，台阶高度逐渐增加，对应的焦距值减小，自中间台阶向下，台阶高度逐渐降低，对应的焦距值增加；激光器的波长等于亚波长光学成像器件设计时的入射光源波长。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注