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摘 要:本发明公开了一种低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构,由下至上依次包括GaAs基衬底、下N型布拉格反射镜、有源区、一对上P型布拉格反射镜、低电阻GaAs基隧道结、氧化限制层和上N型布拉格反射镜。本发明采用了将低电阻GaAs基隧道结和氧化限制层相结合的小尺寸圆形台面的顶发射共面电极结构,以提高光通讯激光器的高速低能耗性能。该结构选用的BCB填充,不仅能够提供平坦的GSG电极平面,还能降低器件的寄生,提高器件的调制带宽;该结构采用不同尺寸的双台面结构提高器件热耗散能力,此结构不需要额外的热沉和散热片,且能够实现器件的直接高速共面探针测试,且可以避免底发射的减薄倒置,降低加工难度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710425889.1 | 专利名称: | 低能耗光通讯面发射激光器的小台面顶发射共面电极结构 |
申请日: | 2017-06-08 | 申请/专利权人 | 青岛科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省青岛市崂山区松岭路99号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01S5/183搜分类 通信技术 电子元器件 电极结构 低 港口 电子设备和元器件 台面 光通讯搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |