发明专利 已授权

—种具有除尘功能的集成电路生产设备

📄 申请号:CN202010987409.2 📄 发布日:2026/04/03

著录项目信息

申请日
2020-09-18
申请人
张利琴
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

集成电路制造, 半导体封装, 晶圆加工, 芯片生产, 洁净室环境控制

摘要

本发明公开了—种具有除尘功能的集成电路生产设备,包括主体仓,所述主体仓内部的中心位置处安装有安装柱,且安装柱外侧的顶部和底部共同安装有轴承,所述轴承的外侧共同安装有安装管,所述安装管的外侧设置有固定组件,所述安装管外侧的底部安装有转动盘,且转动盘顶部的边缘位置处均匀开设有八组U型槽。本发明通过从动齿轮、主体仓、电动升降杆、安装架、集成电路加工组件、安装柱、安装管和限位环的配合使用,多组集成电路加工组件可以同时继续对其他组的集成电路板进行加工,避免因更换集成电路板而导致加工设备出现停止状态,从而大大保证了整个集成电路生产设备的生产加工效率,有利于该集成电路生产设备的推广使用。

常见问题

这项专利是否已经下证?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20211210
✅ 授权
20211207
⏳ 著录事项变更 :
20201225
?? 实质审查的生效 :
20201208
📄 公开

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¥18000.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:69 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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