发明专利已授权

一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路

📄 申请号：CN201611084584.0 📄 发布日：2026/08/07

著录项目信息

申请日

2016-11-30

申请人

电子科技大学中山学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H02H9_02

IPC 分类号

H02H9_02

技术画像

所属领域

浪涌电流抑制浪涌电流抑制电路保护电力电子技术

应用场景

原子层沉积设备, 半导体制造, 集成电路制造, 薄膜沉积工艺, 工业设备电源保护

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明提供一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路，包括电源输入端、单向导通电路、预充电电阻、电子开关、门极电压缓启动电路以及电源输出端，电源输入端与单向导通电路的输入端连接，单向导通电路的输出端与预充电电阻的输入端连接，预充电电阻的输出端与电源输出端连接，单向导通电路的输出端与电子开关的第一输入端连接，电子开关的输出端与电源输出端连接，电源输入端与快速放电电路的输入端连接，快速放电电路的输出端与门极电压缓启动电路的输入端连接，门极电压缓启动电路的输出端与电子开关的第二输入端连接；与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：浪涌电流抑制效果好，能满足频繁上电断电时的浪涌抑制要求；浪涌电流阀值易于配置；相对于集成IC方案具有成本低，可替换型号多，采购方便的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20251014

⏳ 开放许可声明：

20190115

✅ 授权

20170208

?? 实质审查的生效：

20170111

📄 公开

一种模具清洁材料及其制备方法

当前第 / 件

协作机器人控制方法、装置及计算机可读存储介质

同领域国内专利 · IPC: (H02H9_02)

H02H9_00 H02H9_02 H02H9_04 H02H9_08 覆盖4个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：8 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (H02H9_02)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种切换电容器接触器

动态无功补偿装置

一种电力变压器差流阻抗保护方法

服务项目

资源中心

关于柿子坊