发明专利已授权

一种时域频域联合分析宽光谱相干测量方法及系统

📄 申请号：CN201911125563.2 📄 发布日：2025/08/26

著录项目信息

申请日

2019-11-18

公开号

CN110779464A

公开日

2020-02-11

申请人

重庆邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_24

IPC 分类号

G01B11_24

技术画像

所属领域

光学相干测量光学相干测量光谱分析技术信号处理

应用场景

光学相干层析成像, 工业无损检测, 材料厚度测量, 光纤传感, 光学器件表征

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摘要

本发明属于微纳结构三维表面形貌测量领域，具体为一种时域频域联合分析宽光谱相干测量方法及系统，方法包括获取一系列的采样干涉条纹图像，分别提取像素点所对应的原始扫描信号；对该扫描信号分别进行时域调制度分析，提取出扫描信号的调制度曲线，通过调制度极大值点确定靠近零光程差点的采样点位置，可作为中心点并提取一段相对于中心点对称的扫描信号；将对称扫描信号进行空间频域分析，利用频谱相位信息确定零光程差点的相对位置；结合调制度极大值点位置和零光程差点的相对位置，联合求解得到每个像素点的表面形貌高度，确定被测物体三维表面形貌。本发明采取逐像素的方式求取被测微纳结构的表面形貌高度，其理论测量精度可达亚纳米量级。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210618

✅ 授权

20200306

?? 实质审查的生效：

20200211

📄 公开

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