发明专利已授权

一种晶圆储存盒卸料用压紧机构

📄 申请号：CN202010853872.8 📄 发布日：2026/03/20

著录项目信息

申请日

2020-08-24

公开号

CN112079120B

公开日

2021-12-10

申请人

台州市亿源塑业有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B65G49_07

IPC 分类号

B65G49_07 , B65G47_22 , B65G67_24 , B66F11_04 , B65D85_30 ,

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备晶圆传输机构机械压紧机构

应用场景

半导体制造, 晶圆存储, 晶圆传输, 晶圆装卸料, 自动化物料搬运

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摘要

本发明公开一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，包括机架，所述机架的顶板上安装有提升机构，提升机构的提升板处于机架的顶板的正上方，提升板的顶面固定有横向移动机构，横向移动机构的横向移动块的顶面固定有连接板，连接板的顶面上固定有延伸连接板，延伸连接板的端部顶面固定有压紧气缸，压紧气缸的推杆穿过延伸连接板的端部底面并固定有导向板，导向板的底面中部固定有压紧支撑柱，压紧支撑柱的底面固定有防护弹性块。本发明可以将放置在放料台上的晶圆储存盒压紧，方便输送小车的安装板提升与晶圆储存盒分离，无需人工辅助拆卸，其自动化程度高，效果好。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230804

⏳ 专利权质押合同登记的注销：

20230228

⏳ 专利权质押合同登记的生效：

20211210

✅ 授权

20211207

⏳ 专利申请权的转移：

20210101

?? 实质审查的生效：

20201215

📄 公开

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