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摘 要:本发明涉及一种基于硅微/纳米线的微型化双功能气流传感器及其制备方法,微型化双功能气流传感器包括基底层,所述基底层设有沟道区;传感部件,传感部件包括硅微/纳米线,所述硅微/纳米线包括两个端部及位于两个端部之间的中间部,两个所述端部分别位于沟道区的两侧;两个端部分别连接有金属电极,金属电极连接有引线;封装层,其用于将端部封装于基底层上,中间部及引线裸露于所述封装层外。本发明利用单根硅微/纳米线形成导电回路进行气流传感,除了具有对流速检测能力外还具有对气体种类的传感能力,其制备工艺简单、成本低且拥有高灵敏度和超快响应性,当基底层为柔性高分子时器件可穿戴。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110077097.6 | 专利名称: | 基于硅微/纳米线的微型化双功能气流传感器及其制备方法 |
申请日: | 2021-01-20 | 申请/专利权人 | 苏州大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市吴中区石湖西路188号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N27/12搜分类 传感器 纳米材料 气 纳米线 硅 微 微生物采样搜索 |
公开/公告日: | 2022-07-15 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112881478B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/07/15 | 授权 | |
2021/06/18 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01N 27/12 专利申请号: 202110077097.6 申请日: 2021.01.20 |
2021/06/01 | 公开 |