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摘 要:本发明公开了一种柔性电容传感器及其制备方法。柔性电容传感器包括第一极板,所述第一极板依次包括第一柔性衬底,位于所述第一柔性衬底上的第一弹性微结构,位于所述第一弹性微结构上的第一电极;第二极板,所述第二极板依次包括第二柔性衬底,位于所述第二柔性衬底上的第二弹性微结构,位于所述第二弹性微结构上的第二电极,位于所述第二电极上的介电层;所述第一弹性微结构呈三棱锥状,所述第二弹性微结构呈三棱锥状;所述第一极板与所述第二极板的布置方式使得所述第一弹性微结构的三棱锥状与所述第二弹性微结构的三棱锥状呈正交状。该柔性电容压力传感器能够同时兼顾宽的压力检测范围和高灵敏度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011558714.6 | 专利名称: | 柔性电容压力传感器及其制备方法 |
申请日: | 2020-12-25 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01L1/14搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |