波长选择性响应的光电探测器的制备方法

摘     要：本发明属于光电器件领域，公开了波长选择性响应光电探测器的制备方法，在透明基底上依次设置纳米孔图案化金属薄膜层、光敏半导体材料层、致密金属薄膜层、绝缘保护层、以及分别在纳米孔图案化金属薄膜层和致密金属薄膜层引出两个引线端；纳米孔图案化金属薄膜层与致密金属薄膜层形成法布里‑珀罗谐振腔。由于纳米孔为对称的阵列结构，使其对入射光子的偏振角度具有不显著的依赖特性，进而使得光电探测器可实现偏振不敏感的波长选择性响应，法布里‑珀罗谐振腔使得目标光子在光敏半导体材料层中光学共振，增强了光敏半导体材料层对目标光子的吸收率。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2022/08/30	授权
  2021/04/23	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 31/0224 专利申请号: 202011469548.2 申请日: 2020.12.14
  2021/04/02	公开