一种基于光谱调制度深度编码的微结构形貌测量方法及其装置

摘     要：本发明公开了一种基于光谱调制度深度编码的微结构形貌测量方法及其装置。被测元件与空间光调制器在测量所采用光谱范围的中心波长下呈物像共轭；光束折转耦合器、空间光调制器、准直扩束镜头、分束器、轴向非消色差显微物镜、成像镜头和彩色相机之间呈共光路结构。测量时，先对系统装置进行“光谱—深度”对应关系的预标定，再经测量装置采集被测元件反射的各帧单色移相条纹图，得到与被测件面形相关的各单色光条纹图的调制度分布，获取编码图像；采用高斯、类高斯或样条模型拟合确定待测面上各点的“光谱—调制度”关系曲线，解调得到对应的待测面上各点的深度信息，完成被测元件三维形貌分布微结构形貌的无机械式扫描、全场非接触的快速高精度测量。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/04/03	授权
  2018/12/14	实质审查的生效	IPC(主分类): G01B 11/24 专利申请号: 201811013435.4 申请日: 2018.08.31
  2018/11/20	公开