一种基于色散光谱编码的微结构形貌测量方法及其装置

摘     要：本发明公开了一种基于色散光谱编码的微结构形貌测量方法及其装置。它利用复色正弦条纹平行光经过轴向色散型光学系统后沿轴向依次色散并一一对应地聚焦于不同的轴向深度位置、以及轴向色散的各单色正弦条纹的调制度随轴向深度变化且在其焦面位置附近达到极大值，建立了测量所需的“光谱—调制度—深度”三者之间的唯一性编码，仅需多帧（如三帧）相移（或单帧）色散光谱编码图像，即可实现对被测元件三维形貌分布的无机械式扫描、全场非接触、快速（动态甚至瞬态）高精度测量。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/05/22	授权
  2018/12/04	实质审查的生效	IPC(主分类): G01B 11/25 专利申请号: 201811014689.8 申请日: 2018.08.31
  2018/11/09	公开