有机无机复合自驱动光电探测器及其制备方法

摘     要：本发明涉及一种有机无机复合自驱动光电探测器，包括硅片、位于硅片上方的氧化钛膜以及位于氧化钛膜上方的有机膜，有机膜的材质为P3HT，硅片包括底面以及垂直于底面的若干硅纳米线。本发明还提供了其制备方法，包括以下步骤：将硅片在含有氢氟酸和银盐催化剂的水溶液中进行刻蚀，然后利用氧化剂去除残留的银盐催化剂，在硅片上形成若干硅纳米线；利用原子沉积法，将处理后的硅片在钛源和氧源中，于80‑100℃下反应，在硅片上方形成二氧化钛层；将带有二氧化钛层的硅片在惰性气体中400‑500℃下煅烧1‑2h，在硅片上方形成氧化钛膜；将聚(3‑己基噻吩‑2,5‑二基)的有机溶液修饰到氧化钛膜的表面，溶剂挥发后得到有机无机复合自驱动光电探测器。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2021/03/02	授权
  2018/07/31	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 51/42 专利申请号: 201810035167.X 申请日: 2018.01.15
  2018/07/06	公开