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摘 要:本发明公开了具有荧光效应的碳纳米点光刻胶及其成像方法,所述感光树脂为含糖聚合物,利用其在一定电子束曝光剂量范围内的可控碳化及自交联作用,实现具有纳米尺度精确定位的碳纳米点制备,在特定波长光照下具有荧光特性,实现荧光显影及其他应用。水是本专利中唯一使用的溶剂,具有绿色环保的特点,同时可在任意指定位置形成具有任意纳米图案的荧光碳纳米点,一步解决荧光粒子制备与纳米尺度精确定位两个问题,在半导体制造以及生物领域具广泛的应用前景。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201710288631.1 | 专利名称: | 具有荧光效应的碳纳米点光刻胶及其成像方法 |
申请日: | 2017-04-27 | 申请/专利权人 | 苏州大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市相城区济学路8号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/038搜分类 纳米材料 胶 港口 光刻 光刻胶搜索 |
公开/公告日: | 2020-02-21 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN107065436B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2020/02/21 | 授权 | |
2017/09/12 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G03F 7/038 专利申请号: 201710288631.1 申请日: 2017.04.27 |
2017/08/18 | 公开 |