一种用于高空探测的微压传感器

摘     要：本实用新型公开了一种用于高空探测的微压传感器，属于传感器技术领域。该传感器包括SOI衬底硅片，所述SOI衬底硅片上刻蚀有梁‑岛应力增强结构、八个硅铝异质结构电阻和方形硅结构；所述梁‑岛应力增强结构包括四个对称连接的矩形梁和一个正方形中心岛；所述硅铝异质结构电阻设置在所述梁‑岛应力增强结构周围；所述方形硅结构中设有两个PNP三极管，八个所述硅铝异质结构电阻与两个所述PNP三极管电连接，作为两个所述PNP三极管的基极、发射极和集电极电阻，构成差分放大电路。本实用新型应力增强结构由梁‑岛结构组成，可在硅铝异质结构电阻位置上产生更高的应力，结合差分放大电路，将灵敏度提升了两个数量级，有利于50至100千米高度超微压测量。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注