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摘 要:本实用新型公开了一种单片集成MEMS胎压传感器及其外围电路,包括气压传感器、温度传感器、微加速度计、第一受力应变薄膜和第二受力应变薄膜,气压传感器位于第一受力应变薄膜正上方,温度传感器位于第一受力应变薄膜上方左右侧,气压传感器和温度传感器对称分布,微加速度计位于第二受力应变薄膜正上方,气压传感器前后向分布,温度传感器左右向分布。本装置可消除环境中温度对压阻阻值的影响,选用的压力敏感结构是一种新型的硅铝异质结的压阻式电阻,可控性强,稳定性高,结构一致性好,易于实现集成化。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202123288979.1 | 专利名称: | 一种单片集成MEMS胎压传感器及其外围电路 |
申请日: | 2021-12-24 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B60C23/04搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |