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摘 要:本发明提供了一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构,涉及半导体技术领域,包括:安装机构;主体为圆柱形结构;固定件上的圆孔内部安装有调节件;滑槽开设在固定件内部顶端;滑杆安装在滑槽内部;夹持件之间通过滑杆上的弹簧相连接,且夹持件侧边与凸轮相接触;通过旋转调节件上的把手,使得调节件带动顶部的凸轮旋转,而凸轮通过两侧与夹持件相接触,使得夹持件在滑槽内部移动并拉伸滑杆上的弹簧,同时调节件上的卡位件卡位在卡槽内部,而夹持件通过顶部的弧形凸起与晶圆相接触,从而对不同型号的晶圆进行固定夹持,解决了传统光刻胶收集杯,无法根据需求固定晶圆,使得在带动晶圆旋转的过程中,晶圆出现偏斜的情况,使用不便捷问题。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210227703.2 | 专利名称: | 一种半导体晶圆生产用光刻胶收集杯结构 |
申请日: | 2022-03-08 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B1/00搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |