发明专利已授权

基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对测距装置与方法

📄 申请号：CN201711339452.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2017-12-14

公开号

CN108120378A

公开日

2018-06-05

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02

技术画像

所属领域

测距装置光学精密测量飞秒激光技术干涉测量测距装置

应用场景

工业精密测量, 半导体制造, 航空航天测距, 科学研究, 大尺寸计量

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摘要

本发明公开了一种基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对测距装置与方法。包括光源系统、正弦相位调制干涉系统和信号处理系统；光源系统输出包含不同波长的两路激光光束，射向正弦相位调制干涉系统，干涉光束射向信号处理系统进行相位解调，根据频率扫描干涉和多波长干涉原理得到待测距离；FSI中频率扫描范围和MWI中每个波长的值都由飞秒光频梳标定，将距离测量直接溯源至时间频率基准。本发明光路结构简单、测量范围大、精度高，可用于大型装备制造、精密计量等领域。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20200218

✅ 授权

20180629

?? 实质审查的生效：

20180605

📄 公开

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