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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201811569945.X | 专利名称: | 渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置 |
申请日: | 2018-12-21 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | G01B11/27 分类检索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
浏览量: | 4 | 所属领域: | 激光专利转让搜索 |
应用场景:数控机床导轨直线度校准;工业机器人运动轨迹精度验证;大型机械设备安装调试;半导体晶圆台定位系统标定;航空航天部件装配对准检测
摘 要:本发明公开了一种渥拉斯顿棱镜移动式激光干涉直线度及位移同时测量装置。包含具有拍频信号输出的双频激光器和直线度及位移同时测量单元,其中半透射半反射平面镜和渥拉斯顿棱镜组成测量镜,该测量镜移动时,产生含有不同多普勒频差的三路测量光束,经三个光电探测器接收输出三路测量信号,与双频激光器输出的参考信号一起经信号处理板和计算机处理后,得到被测对象的直线度误差及位移。本发明通过半透射半反射平面镜和渥拉斯顿棱镜的组合,在一套激光干涉装置中实现了直线度及位移的同时测量,同时利用渥拉斯顿棱镜作为测量镜对转角误差不敏感的特点,降低了被测对象转角误差对直线度误差测量结果的影响,提高了直线度误差测量精度和稳定性。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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